碳化硅是绿碳化硅微粉的原材料，制造方法同黑色碳化硅，但采用的原材料纯度要求较高，也在电阻炉中2200°C左右的高温下形成，绿色，呈半透明状，六方晶形，其Sic含量较黑色为高，物理性能与黑色碳化硅相近，但性能略较黑色为脆，也具有较好的导热性与半导体特性。
超细碳化硅微粉的优点是磨粒锋利，硬度高，可以磨削硬质合金、光学玻璃、陶瓷、合金等硬脆材料。 而且其导热性好，适合磨削受热易变形的工件。但是超细碳化硅微粉也有缺点，就是其脆性较大，所以保持棱角较差，不适合加工韧性较大的工件。
超细碳化硅微粉按形状可分为平形砂轮、斜边砂轮、筒形砂轮、杯形砂轮、碟形砂轮等；按结合剂可分为陶瓷砂轮、树脂砂轮、橡胶砂轮、金属砂轮等。砂轮的特性参数主要有磨料、粘度、硬度、结合剂、形状、尺寸等。由于砂轮通常在高速下工作，因而使用前应进行回转试验（保证砂轮在高工作转速下，不会破裂）和静平衡试验（防止工作时引起机床振动）。砂轮在工作一段时间后，应进行修整以恢复磨削性能和正确的几何形状。
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